真空壓力計(jì)專(zhuān)門(mén)用于測(cè)量低于大氣壓的負(fù)壓環(huán)境，其測(cè)量范圍可從粗真空延伸至超高真空。它不僅是真空系統(tǒng)的“眼睛”，更是工藝控制的“神經(jīng)末梢”。
真空壓力計(jì)的精準(zhǔn)感知能力源于多個(gè)精密部件的協(xié)同運(yùn)作，將無(wú)形的真空壓力轉(zhuǎn)化為可讀的電信號(hào)或機(jī)械指示，在微觀氣壓世界中精準(zhǔn)破譯。
1、傳感器元件
根據(jù)測(cè)量原理不同，核心部件各異：
壓阻式：采用硅基MEMS芯片，利用壓敏電阻隨壓力變化的特性，將形變轉(zhuǎn)化為電阻變化，適用于中低真空（10?–10??Pa），響應(yīng)快、體積小。
電容式：通過(guò)測(cè)量金屬膜片與固定電極間電容變化來(lái)感知壓力，精度高、穩(wěn)定性好，廣泛用于精密真空系統(tǒng)。
電離式（熱陰極/冷陰極）：在高/超高真空下，通過(guò)測(cè)量氣體電離電流來(lái)間接反映壓力，適用于10??–10???Pa，是真空設(shè)備的“守門(mén)人”。
皮拉尼計(jì)：利用熱絲電阻隨氣體熱導(dǎo)率變化的原理，測(cè)量中真空（10??–10?Pa），結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低。
2、壓力接口
標(biāo)準(zhǔn)接口（如KF、ISO、NPT螺紋）用于連接真空腔體或管道。材質(zhì)多為不銹鋼，確保氣密性與耐腐蝕性。部分型號(hào)帶截止閥，便于維護(hù)時(shí)隔離系統(tǒng)。
3、信號(hào)處理電路
將傳感器輸出的微弱信號(hào)（mV級(jí)）進(jìn)行放大、線(xiàn)性化、溫度補(bǔ)償和數(shù)字化處理。內(nèi)置微處理器可實(shí)現(xiàn)：
單位轉(zhuǎn)換（Pa、mbar、Torr等）；
零點(diǎn)與量程校準(zhǔn)；
報(bào)警閾值設(shè)定。
4、顯示單元
數(shù)字顯示屏：LCD或OLED，實(shí)時(shí)顯示壓力值、單位、狀態(tài)、報(bào)警信息；
模擬指針表（機(jī)械式）：通過(guò)波登管或膜盒驅(qū)動(dòng)指針，無(wú)需電源，用于簡(jiǎn)單監(jiān)控。
5、輸出模塊
模擬輸出：4–20mA或0–10V，接入PLC或DCS系統(tǒng)；
數(shù)字通信：RS485、Modbus、Profibus、Ethernet，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與組網(wǎng)；
繼電器輸出：用于觸發(fā)真空泵啟停、報(bào)警燈等。
6、外殼與防護(hù)
材質(zhì)：鋁合金或不銹鋼，防塵、防腐、抗電磁干擾；
防護(hù)等級(jí)：IP65或更高，適應(yīng)工業(yè)環(huán)境；
冷卻設(shè)計(jì)：高功率型號(hào)帶散熱片或風(fēng)扇，防止過(guò)熱。
7、電源模塊
提供穩(wěn)定直流或交流電源（如24VDC、220VAC），內(nèi)置穩(wěn)壓與過(guò)載保護(hù)電路。
8、溫度傳感器
內(nèi)置NTC或Pt100，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)傳感器溫度，用于補(bǔ)償因環(huán)境溫度變化引起的測(cè)量誤差。
9、自診斷系統(tǒng)
自動(dòng)檢測(cè)傳感器狀態(tài)、電路故障、通信中斷，并在顯示屏或上位機(jī)發(fā)出報(bào)警。
10、安裝支架與減震墊
確保儀表牢固安裝，減少振動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響。
更新更新時(shí)間：2025-10-01
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